卢瑟福背散射光谱法(RBS)是一种用于成分薄膜分析的离子散射技术。 RBS的独特之处在于它允许在不使用参考标准的情况下进行量化。 在RBS分析期间,高能(MeV)He2+ 离子(即 α 粒子)被引导到样品上,背散射 He 的能量分布和产率2+ 测量给定角度的离子。 由于每个元件的背向散射截面是已知的,因此可以从厚度小于 1 μm 的薄膜的 RBS 光谱中获得定量的成分深度分布。
除了元素组成外,RBS 还可用于获取有关单晶样品结晶质量的信息。 这种称为“沟道”的技术可以探测晶体中的损伤程度或确定晶格中替代或间隙物质的数量。
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