卢瑟福背散射光谱法（RBS）

卢瑟福背散射光谱法（RBS）是一种用于成分薄膜分析的离子散射技术。 RBS的独特之处在于它允许在不使用参考标准的情况下进行量化。在RBS分析期间，高能（MeV）He²⁺ 离子（即α粒子）被引导到样品上，并且反向散射的He的能量分布和产率²⁺ 测量给定角度的离子。由于每个元件的后向散射截面是已知的，因此对于小于1μm厚的膜，可以从所获得的RBS光谱获得定量的组成深度分布。

除了元素组成外，RBS还可用于获得有关单晶样品晶体质量的信息。这项称为“通道化”的技术可以探测晶体的破坏程度，或确定晶格中替代或填隙物种的数量。

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