氢前向散射光谱（HFS）

氢前向散射光谱法（HFS）是一种离子散射技术，用于定量测定薄膜中氢的垂直分布。在这个过程中，他²⁺ 离子以掠射角撞击样品表面，将氢原子从样品中敲出，然后使用固态检测器进行分析。

由于氢对薄膜物理或电气特性的潜在影响，测量薄膜内氢含量的组成和垂直分布的能力可能至关重要。其他技术，如俄歇电子能谱 (AES)、能量色散 X 射线能谱 (EDS) 和 X 射线光电子能谱 (XPS)，无法检测氢；虽然 SIMS 可以测量氢，但通过 SIMS 对氢进行量化可能很困难并且需要标准。这使得 HFS 成为一种独特的薄膜分析技术。

很少有实验室能够提供 HFS。 EAG 的经验可实现快速的周转时间、准确的数据和个人对个人的服务，确保您了解结果对您的材料和流程意味着什么。