氢前向散射光谱（HFS）

氢前向散射光谱法（HFS）是一种离子散射技术，用于定量测定薄膜中氢的垂直分布。在这个过程中，他²⁺ 离子以掠射角撞击样品表面，将氢原子从样品中敲出，然后使用固态检测器进行分析。

由于氢对薄膜物理或电学性质的潜在影响，因此测量薄膜中氢含量的组成和垂直分布的能力至关重要。其他技术，例如俄歇电子能谱（AES），能量色散X射线能谱（EDS）和X射线光电子能谱（XPS），无法检测到氢；尽管SIMS可以测量氢气，但SIMS定量氢气可能很困难并且需要标准。这使得HFS成为用于薄膜分析的独特有用技术。

很少有实验室能够提供HFS。 EAG的经验可以缩短周转时间，提供准确的数据和人对人的服务，从而确保您了解结果对于物料和流程的意义。