二次离子质谱（SIMS）可检测极低浓度的掺杂剂和杂质。 该技术提供了从几埃 (Å) 到几十微米 (µm) 的广泛深度范围内的元素深度剖面。 样品表面用一束初级离子（通常是 O2+ 或者Cs+) 而在溅射过程中形成的二次离子使用质谱仪（四极杆、扇形磁场或飞行时间）进行提取和分析。 次级离子的浓度范围可以从基质水平到亚 ppm 痕量水平。
EAG是SIMS分析的行业标准， 提供最佳检测限，以及准确的浓度和层结构识别。 EAG 在 SIMS 领域的经验和承诺的深度和范围是无与伦比的。 EAG 拥有全球范围最广的二次离子质谱仪（超过 40 种），由非常合格的科学家组成。 EAG 还拥有世界上最大的离子注入和体掺杂标准参考材料库，用于准确的 SIMS 量化。
EAG 的 SIMS 科学家经过专门培训，擅长了解客户的分析需求并优化分析，以最有效地解决他们的顾虑和兴趣。 今天，SIMS 分析用于帮助各行各业的客户进行研发、质量控制、故障分析、故障排除和过程监控。 EAG 在整个过程中提供个性化服务，让您全面了解 SIMS 实验室测试结果。
所选元素的SIMS检测限
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