透射电子显微镜(TEM分析)和扫描透射电子显微镜(STEM)是使用电子束成像样品的类似技术。 TEM 和 STEM 分析的图像分辨率约为 1-2 Å。 高能电子(80-200 keV)通过电子透明样品(~100 nm 厚)传输。 TEM 和 STEM 的空间分辨率比 SEM 但往往需要更复杂的样品制备。
尽管 TEM 和 STEM 比许多其他常用分析工具更耗时,但可以从这些技术中获取各种信号,从而可以在纳米级进行化学分析。 除了高图像分辨率外,还可以表征结晶相、结晶取向(使用电子衍射实验)、生成元素图(通过使用 EDS or EELS) 并获取突出元素对比度的图像(Z 对比度或 HAADF-STEM 模式)。 这些都可以从精确定位的纳米级区域完成。 STEM 和 TEM 是出色的薄膜和 IC 样品失效分析工具。
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