阴极发光 (CL) 是电磁辐射或光,范围从可见光 (VIS) 到近红外 (NIR),由高能电子(阴极射线)与发光材料相互作用产生。 发出的光携带有关样品光学和电子特性的非常具体的信息。
使用专业 扫描电子显微镜(SEM) 具有可见光收集功能,可以以亚微米分辨率同时获取相应的样品结构(SE)和CL发射图。 在某些情况下,CL 空间分辨率可以达到 30-50 nm。 CL 映射可以在横截面 (XS) 或平面视图 (PV) 上执行,以表征样品的局部成分、掺杂、结构和缺陷,所有这些都具有非常高的空间分辨率。
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