聚焦离子束(FIB)仪器使用精细聚焦的离子束来修改和成像感兴趣的样品。 FIB主要用于创建非常精确的样品横截面,用于后续成像 SEM, STEM或TEM 或进行电路修改。 此外,FIB 成像可用于直接对样品成像,检测来自离子或电子束的发射电子。 FIB 的对比机制与 SEM 或 S/TEM 不同,因此在某些情况下可以获得独特的结构信息。 双束 FIB/SEM 将这两种技术集成到一个工具中,而单束 FIB 仅包含离子束,电子束成像在单独的 SEM、STEM 或 TEM 仪器中进行。
作为样品制备工具,FIB可以准确地生成样品的横截面,否则无法创建:
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