原子力显微镜(AFM)

原子力显微镜(AFM)分析提供近原子分辨率的图像,用于测量表面形貌。  AFM也称为 扫描探针显微镜。 它能够量化低至埃级的样品的表面粗糙度。 除了显示表面图像之外,AFM分析还可以提供特征尺寸(例如台阶高度和其他尺寸)的定量测​​量。 此外,原子力显微镜测量的高级模式还可以对各种其他物理特性(如附着力,模量,掺杂剂分布,电导率,表面电势,电场和磁畴)进行定性映射。

原子力显微镜分析

此外,原子力显微镜是该装置成像部分的一部分 智能图表

原子力显微镜的理想用途

  • 评估晶圆上的晶圆或薄膜(例如SiO2,GaAs,SiGe等)加工前后
  • 调查处理效果(例如等离子体处理) 生物医学设备 例如隐形眼镜,导管和涂层支架
  • 检查表面粗糙度对粘附力的影响
  • 评估加工/图案化晶圆上的沟槽形状/清洁度
  • 确定形态是否是表面雾霾的来源
  • 映射激活载波的分布
  • 表征薄导电膜的均匀性
  • 测量图案化晶圆上的畴之间的台阶高度
  • 三维表面形貌成像,包括表面粗糙度,晶粒尺寸,台阶高度和间距
  • 成像其他样品特性,包括磁场,电容和摩擦
  • 相成像可以研究表面的物理特性,例如模量和附着力

我们的强项

  • 首先,量化表面粗糙度
  • 其次,可以完整分析300 mm以下的晶片
  • 第三,高空间分辨率
  • 最后,对导电和绝缘样品进行成像

限制

  • 扫描范围限制:z方向横向(xy)90 µm,z方向垂直5 µm
  • 极端粗糙或形状奇特的样品存在潜在问题
  • 尖端引起的错误是可能的
  • 许多电和磁模式仅限于定性或半定量测量

AFM技术规格

  • 检测到信号:地形
  • 垂直分辨率:0.1Å
  • 成像/映射:是
  • 横向分辨率/探针尺寸:2-150纳米
  • 进阶分析模式:
    • SCM:扫描电容显微镜
    • C-AFM:导电原子力显微镜
    • TUNA:隧道AFM
    • KPFM:开尔文探针力显微镜
    • SSRM:扫描扩展电阻显微镜
    • EFM:静电力显微镜
    • MFM:磁力显微镜
    • PFQNM:峰值力定量纳米机械显微镜

总之,EAG实验室可以提供AFM服务,以解决您的材料相关问题。 最后,请致电800-366-3867与我们联系或填写表格,让专家讨论您的AFM成像需求。

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