Z中所选元素的SIMS检测限nO在正常深度剖析条件下

应用笔记

正常深度条件下ZnO中选择元素的SIMS ZnO  -  SIMS检测限

在ZnO中叠加两个单独的砷植入物SIMS曲线。

叠加两个单独的 SIMS ZnO中砷注入的分布图。 在该实施例中证明了优异的重现性以及约为1e16 at / cm的计数率限制检测限。3.

对于含有Ti,Cr,Ni和Cu植入物的ZnO样品,在单个SIMS曲线中叠加多种物质。

单个覆盖多个物种 SIMS个人资料 对于含有Ti,Cr,Ni和Cu植入物的ZnO样品。

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