表面有机污染

应用笔记

讨论

作为表现 半导体, 光电 并且光子器件得到改善,分子污染的耐受性降低。 该 鉴定有机污染物 在表面上传统上已经尝试了几种分析技术(FTIR, XPSGC / MS)。 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是一种非常表面敏感的分析技术,可以分析非常低含量的有机和无机污染物。 TOF-SIMS通常可以借助或不借助参考材料来识别有机污染物。 在下面的示例中,在光学表面上观察到的液滴的水平太低,无法通过FTIR进行检查(单个液滴约为1μm)。 TOF-SIMS分析鉴定出污染物为戊二烯丙基
四辛酸酯(C37H68O8),用作机器润滑剂。

在顶部图中显示了在320-500u质量范围内显示峰的液滴的TOF-SIMS光谱,而底部图是来自表面上的对照区域。 确定液滴是季戊四醇四辛酸酯。

在顶部图中显示了在320-500u质量范围内显示峰的液滴的TOF-SIMS光谱,而底部图是来自表面上的对照区域。 确定液滴是季戊四醇四辛酸酯。

TOF-SIMS图像从上到下显示总离子图像,氟润滑剂的分布以及320-500u范围内的一系列有机峰。 来自液滴区域的质谱仅显示在顶部光谱中。

TOF-SIMS图像从上到下显示总离子图像,氟润滑剂的分布以及320-500u范围内的一系列有机峰。 来自液滴区域的质谱仅显示在顶部光谱中。

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