表面污染的表征

应用笔记

讨论

元素表征 缺陷和 污染 on 是必需品 故障分析. 能量色散X射线光谱仪(EDS),结合 扫描电子显微镜(SEM) 提供了一种快速有效的工具,用于表征大约1μm或更大的颗粒和缺陷。 现代仪器允许检测轻元素(B到F),以及更高的Z元素,以及同时成像多个元素。 图1中显示了七种元素的横向分布以及二次电子和背散射电子图像。 从该图像集合中可以容易地确定污染物是含碳材料和Mg,Al和Si的氧化物的聚集体。

图1 表面缺陷的二次电子图像(SEI)和相关的EDS元素图像和背散射电子图像。

对于小于1微米的颗粒和缺陷,理想的工具是 俄歇电子能谱(AES)。 使用该仪器,可以在特征上表征200Å这样小的特征。 图2给出了一个例子。 在硅晶片上的500Å颗粒的俄歇测量光谱显示颗粒含有铝。

图2 Auger在二次电子图像(左上角)中显示的500Å粒子的测量光谱(底部)显示铝污染。 Al地图显示在右上角。

图2 Auger在二次电子图像(左上角)中显示的500Å粒子的测量光谱(底部)显示铝污染。 Al地图显示在右上角。

图2 二次电子图像(左上)中显示的500Å粒子的俄歇测量光谱(底部)显示铝污染。 Al地图显示在右上角。

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