像差校正扫描透射电子显微镜(AC-STEM)服务

技术说明

引言

像差校正扫描透射电子显微镜(AC-STEM)是能够以Angstrom量表提供信息的下一代成像工具。 EAG很荣幸成为第一家为客户提供AC-STEM功能的独立分析实验室。 AC-STEM显着提高了传统的分辨率 STEM 工具,在我们的Hitachi HD0.14上提供优于2700 nm的分辨率。

AC-STEM提供的分辨率和灵敏度的提高普遍适用于纳米级材料的研究。 我们专注于涉及超薄膜,纳米粒子,复杂界面,多相材料,层间混合,晶界工程和表面现象的研究。

硅哑铃的Z-对比图像。 明亮的球体是硅原子列,间隔为0.136nm,突出了该技术的出色图像分辨率。

硅哑铃的Z-对比图像。 明亮的球体是硅原子列,间隔为0.136nm,突出了该技术的出色图像分辨率。

高分辨率BF STEM图像

上面是高分辨率BF STEM图像,下面是相关的复合元素图,显示了具有单nm尺度工艺层的FinFET器件的结构。

FinFET结构的STEM-EDS图。 元素图可以具有~1nm的分辨率和~1%的检测极限。 EDS是为各种分析类型(包括过程开发,缺陷分析和逆向工程)创建多元素贴图,线扫描和光谱的绝佳方法。

FinFET结构的STEM-EDS图。 元素图的分辨率可以是 ~1nm和检测限 ~1%。 EDS是为各种分析类型(包括过程开发,缺陷分析和逆向工程)创建多元素贴图,线扫描和光谱的绝佳方法。

使用相同系列工具比较标准STEM和AC-STEM。

使用相同系列工具比较标准STEM和AC-STEM。 注意几个因素:

  1. AC-STEM图像的整体分辨率更好。 原子列在AC-STEM图像中清晰地分辨,在未修正的数据中分辨率较低。
  2. 未校正的图像显示出比AC-STEM图像稍微更多的光束损伤。 这种光束损伤在未校正的图像中表现为一般的浑浊。

 

概要

EAG实验室的材料科学部门是全球领先的表面分析和材料表征服务提供商。 我们结合了最先进的设备和 显微镜 专家,在使用先进材料和高科技产品方面经验丰富,确保最高质量的成像效果。 我们知道,最新一代的STEM技术只能与最新一代的样品制备工具相结合,以创建模范图像。 我们期待着解决您最棘手的材料问题。

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