X線光電子分光法（XPS分光法）または化学分析用電子分光法（ESCA）

X線光電子分光法（XPS分光法） 化学分析のための電子分光法（ESCA）としても知られています. X線光電子分光法 定量的な原子組成と化学を決定するために使用されます。それは、表面分析表面から約50〜100Åの深さまで広がるサンプリングボリュームを使用する手法。 XPS分光法は、スパッタ深さのプロファイリングにも使用できます。これは、深さの関数としてマトリックスレベルの要素を定量化することにより、薄膜を特徴づけるのに役立ちます。

XPS Spectroscopyは元素分析手法です。これは、検出された元素の化学状態情報も提供する点で独特です。硫黄の硫酸塩形態と硫化物形態を区別することは有効な使用法です。 このプロセスは、サンプルに単色X線。これにより、サンプリングボリューム内の要素に特徴的なエネルギーを持つ光電子が放出されます。

スマートチャート

XPS Spectroscopyは、スマートチャートシリーズ。 XPS分光法は、HとHeを除くすべての元素を検出および定量化し、化学状態情報を提供できるため、強力な調査分析手法になります。

X線は数ミクロンの深さのサンプルを透過し、サンプルから電子を押し出します。したがって、上位100オングストロームの電子だけがXPS検出器に到達するのに十分なエネルギーを持っています。

まず、XPS分光法は通常、最高の感度で全エネルギー範囲のスキャンを調べる調査から始まります。したがって、表面の元素を特定して定量化することができます。次に、通常、高分解能XPS分析を使用して、より高いエネルギー分解能でナロースキャンを使用する結合状態を決定します。これにより、ピーク位置とピーク形状から化学結合状態を判断できます。最後に、薄膜組成を決定するには、原子組成を調べるため、深度プロファイル分析が役立ちます。

EAGは、さまざまなアプリケーションでX線光電子分光法を使用して、さまざまな業界の顧客を支援します。たとえば、研究開発、プロセス開発/改善、故障解析.

XPS分光法例

XPS分析の例は次のとおりです。

汚れや変色の識別
洗浄プロセスの特徴づけ
粉体および破片の組成分析
汚染源の特定
表面変化を識別し定量化するための処理前後のポリマー官能性の検査
マトリックスレベルの構成成分と汚染物質（最低％レベルまで）の薄膜スタック（導電性と非導電性の両方）の深さプロファイルの取得
サンプル間の酸化物厚さの違いの評価
ハードディスクの潤滑剤の厚さの測定

XPS分光法サマリー

理想的な使い方

まず、有機および無機材料、汚れ、または残留物の表面分析
第二に、表面から組成と化学状態の情報を決定する
第三に、薄膜組成の深さプロファイリング
さらに、薄膜酸化物の厚さ測定（SiO₂アル₂O₃)

XPSの強み

表面の化学状態同定
HとHeを除くすべての元素の同定
サンプル間の化学状態の違いを含む定量分析
絶縁サンプル（紙、プラスチック、ガラスなど）を含む多種多様な材料に適用可能
マトリックスレベルの濃度による深度プロファイリング
酸化物厚さ測定

XPSの制限

まず、検出限界は通常〜0.1 at％
第二に、最小の分析領域は約10 µm
さらに、限定された特定の有機情報
最後に、UHV環境とのサンプルの互換性

（例：XPS 分光法技術仕様

検出された信号：表面近くの原子からの光電子
検出された元素：Li-U化学結合情報
検出限界：0.1–1 at％サブ単層
深さ分解能：20〜200Å（プロファイリングモード）。 10〜100Å（表面分析）
イメージング/マッピング：はい
横方向分解能/プローブサイズ：10 µm – 2 mm

とりわけ、サンプルの化学的構成に対するXPS分光法の洞察により、次のことが可能になります。 製品とプロセスの改善をより迅速にするサイクル時間を短縮して費用を節約できます。

さらに、EAGを使用すると、XPS分光分析を実行するために利用できる最高の設備、機器、および科学者にアクセスすることもできます。私たちは複数の業界からの多くの異なる材料を扱っており、非常に幅広い経験を与えてくれます。最後に、私たちの個人対個人のサービスは、あなたがあなたのすべての質問に対する答えを受け取ることを確実にします。