全反射蛍光X線(TXRF)

全反射蛍光X線(TXRF)は、研磨されたウェーハ表面の超低角X線励起を利用して、表面の金属汚染物質の濃度を取得します。

X線ビームの入射角(通常は0.05〜0.5°)は基板の臨界角を下回り、励起をサンプルの最表面に制限します(材料によっては上部80Åまで)。 サンプルから放出される蛍光シグナルは、存在する元素汚染物質の特徴です。

TXRF

表面感度の高い技術であるTXRFは、Si、SiC、GaAs、サファイアなどの半導体ウェーハ上の表面金属汚染を分析するために最適です。

TXRFの理想的な使用法

  • 半導体ウエハ上の金属表面汚染

TXRFの強み

  • 微量元素分析
  • 調査分析
  • 非破壊
  • 自動分析
  • ウェハ全体の分析(最大300 mm)
  • Si、SiC、GaAs、InP、サファイア、ガラスなど多くの基板を分析できます

制限事項

  • 低Z元素を検出できません(周期表のNaより下)
  • 最高の検出限界を得るために研磨面が必要

TXRF技術仕様

  • 検出された信号:ウェーハ表面からの蛍光X線
  • 検出された元素:Na-U
  • 検出限界:109 - 1012 / cm2
  • 深さ分解能:30 –80Å(サンプリング深さ)
  • イメージング/マッピング:オプション
  • 横方向の解像度/プローブサイズ:〜10 mm

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