ラザフォード後方散乱分光法（ＲＢＳ）は、組成薄膜分析に使用されるイオン散乱技術です。 RBSは、参照標準を使用せずに定量化を可能にするという点でユニークです。 RBS分析中、高エネルギー（MeV）2+ イオン（すなわちアルファ粒子）はサンプルに向けられ、所定の角度で後方散乱されたHe2+ のエネルギー分布と収率を測定します。 各元素の後方散乱断面積は既知であるので、得られたＲＢＳスペクトルから、厚さ1μm未満のフィルムについて、定量的組成深さプロファイルを得ることが可能です。
元素組成に加えて、RBSを使用して単結晶サンプルの結晶品質に関する情報を取得できます。 「チャネリング」と呼ばれるこの手法は、結晶の損傷の程度を調べたり、格子内の置換種または格子間種の量を決定したりすることができます。
EAGは、ペレトロンとタンデトロンの両方の機器を使用して、RBSを使用して薄膜を分析することで世界クラスの経験を持っています。 あらゆる種類の薄膜（酸化物、窒化物、ケイ化物、高Kおよび低K誘電体、金属膜、化合物）の分析におけるEAGの経験 半導体 （ドーパント）は、短い納期、正確なデータ、そして質の高い個人間サービスを可能にします。
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