核反応分析(NRA)

核反応分析(NRA)は、薄膜中の低Z元素(炭素、窒素、酸素、ホウ素など)を測定するために使用されます。 NRA分析中、一次発射体は薄膜内の低Z核との核反応を誘発し、特定の核反応(つまり特定の元素)に特徴的な運動エネルギーを持つ粒子の放出をもたらします。

NRAを商業的に提供したり、EAGの豊富な経験、正確なデータ、個人間のサービスに匹敵するラボはほとんどありません。

NRAは、フィルムに存在するB、C、N、O、およびLiの総濃度を定量的に測定するために使用できます。 これらの元素は、NRAを使用して、 RBSとこれらの元素を比較してNRAではより低い濃度で測定できます。 RBSと組み合わせてNRAを行うことによって、薄膜中の軽元素の濃度を決定することができます。

NRAの理想的な使用法

  • 薄膜中の低レベルのB、C、N、O、Liの測定

強み

  • 非破壊組成分析
  • 基準なしの定量
  • ウェハ全体の分析(最大300 mm)
  • 導体と絶縁体の分析
  • 低Z元素の感度

制限事項

  • 広い分析領域(直径約1〜2 mm)
  • 深度分解能なし
  • 各要素には特定の発射体が必要なので、関心のある要素によっては複数の測​​定が必要になることがあります。

NRAの技術仕様

  • 検出された要素 C、N、O、B、Li
  • 検出限界: 0.5 – 2 at%
  • 深さの決断: なし
  • イメージング/マッピング: いいえ
  • 側面の決断/調査のサイズ:〜1〜2 mm

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