レーザー誘起破壊分光法(LIBS)

レーザー誘起破壊分光法(LIBS)は、自動化されたレーザーマイクロサンプリングと発光分光器を組み合わせて、固体試料中の相対元素存在量と元素分布を特徴付ける強力な高速化学分析技術です。

LIBSは、集束高エネルギーパルスレーザーを使用して、レーザーが試料表面を通過する際にナノグラムからピコグラムの材料を除去します。レーザーは、サンプル材料を霧化およびイオン化するマイクロプラズマの形成を引き起こし、それは急速に膨張および冷却を受けます。 この間に、プラズマ中に存在する霧化およびイオン化された元素は、近赤外から遠紫外領域に特徴的な発光線を生成します。 分光計は、試料台の上に配置されており、存在するすべての元素によって生成される全波長範囲を同時に取得することができます。 分光計による試料組成の間接測定は、大気に敏感な試料に対してLIBSを特に強力にし、現在NASAの火星探査機によって使用されています。

レーザーはサンプル表面の同じ位置に再度焦点を合わせることができ、サンプルマトリックスに応じて1パス当たり100ナノメートルの分解能で深さプロファイリングを提供することができるので、LIBSは深さ分析に特に有用である。 さらに、さまざまなレーザースポットサイズ(~20-200 µm)が利用可能で、サブミクロン分解能の電動サンプルステージによりサンプル表面を走査し、空間的に分解可能な元素マップを提供し、多変量統計解析が可能です。 。 LIBSは、サンプルマトリックスに応じて、天然成分をXNUMX万分のXNUMXレベルまで検出できます。

LIBSの理想的な使用法

  • 固体材料の化学組成を迅速に調査する
  • 微量元素の元素分布分析とミクロンスケールマッピング
  • 深さプロファイリング  

強み

  • の直接元素分析 どれか 固体材料 
  • 事前準備なしの分析 
  • A大気に敏感な材料の分析 
  • 空間分布分析/マッピング
  • すべての要素テーブル 

制限事項

  • 発光スペクトルに対する強いマトリックス効果 
  • 定量分析のためには、マトリックスマッチング標準物質をサンプルと一緒に分析する必要があります 

LIBS技術仕様

  • 検出された種:基本発光線  
  • 感度: パーツあたり 何百万 (ppmw) 
  • 深さの決断:> 0.1 ミクロン 
  • 典型的なスポットサイズ:20  - 200 ミクロン 

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