誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）ベースの分析技術は、粉末、固体、液体、および懸濁液を含む多種多様なサンプルタイプの定量的バルク元素組成を提供することができます。 固体サンプルは通常、クローズドマイクロ波システムで酸の組み合わせを使用して溶解または分解されるため、揮発性の可能性のある分析対象種が保持されます。 得られたサンプル溶液は、誘導結合アルゴンプラズマのコアに噴霧され、約9000Kの温度に達します。 このような高温では、噴霧された溶液が気化され、分析対象種が噴霧され、イオン化され、熱的に励起されます。 次に、分析対象物の種は、熱的に励起された分析対象物の原子またはイオンから元素固有の特徴的な波長で放出される放射の強度を測定する発光分光計（OES）で検出および定量化できます。 強度測定値は、キャリブレーション標準との比較により元素濃度に変換されます。 この手法は、標準が利用できない場合の定量化学分析に特に強力です。
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