エネルギー分散型X線分光分析（EDS）

エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＳ）は、以下のXNUMXつの主要な電子ビームベースの手法と組み合わせることができる化学分析方法です。 of 走査型電子顕微鏡（SEM）, 透過型電子顕微鏡（TEM）および走査型透過電子顕微鏡（STEM）.

EDSは、これらのイメージングツールと組み合わせると、直径1ナノメートル（STEM）の小さな領域から空間的に分解された元素分析を提供できます。 SEMでは、分析ボリュームはより大きく、ボリュームの範囲はおそらく0.1〜3ミクロンです。 電子ビームがサンプルに衝突すると、サンプルに存在する元素の特徴であるX線が生成されます。  EDS分析では、個々のポイントの元素組成を取得したり、ラインスキャンやマッピングデータを使用して、元素の横方向の分布を取得することができます。

EDSの理想的な使用法

• SEM / TEMイメージングを用いた小領域の元素組成
• 欠陥の特定/マッピング

強み

• 迅速な「ファーストルック」組成分析
• 多用途、安価、そして広く入手可能
• サンプルによっては定量的（フラット、ポリッシュ、ホモジニアス）

制限事項

• 一般的に、半定量分析が可能です
• サンプルサイズはSEM / TEMと互換性がなければなりません
• サンプルは真空適合性でなければなりません（湿った有機材料には理想的ではありません）
• 分析（およびコーティング）はその後の表面分析を制限する可能性があります
• 多数の元素ピークのオーバーラップが発生する可能性があるため、スペクトルを注意深く確認する必要があります

EDS技術仕様

• 検出されたシグナル： 特徴的なX線
• 検出された要素 BU
• 検出限界： 0.1-1 at％
• SEMサンプリング深さ： 0.1-3μm
• STEMサンプリング深度：  〜0.1ミクロン（箔の厚さ）
• イメージング/マッピングとラインスキャン はい
• 横方向の解像度： STEM-EDSの場合は1〜2 nm、SEMEDSの場合は> =0.1μm