電子エネルギー損失分光法（EELS）は、以下の組み合わせにより、ナノメートルスケールで元素情報を提供できる技術です。（ 透過型電子顕微鏡（TEM）および走査型透過電子顕微鏡（STEM）. 入射電子のエネルギーは、サンプルを通過するときに変化（減少）します。 このエネルギー損失は、元素の識別を提供するためにEELSを使用して特徴付けることができます。 に比べ エネルギー分散型X線分光分析（EDS）、EELSは、S / N比の改善、空間分解能の向上（1 nmまで）、エネルギー分解能の向上（EELSの場合は1 eV未満）、および原子番号の低い元素に対する感度の向上を提供します。 一部の元素については、化学結合情報を取得できます。
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