残留ガス分析(RGA:Residual Gas Analysis)
内部ガス組成分析(Internal Gas Composition Analysis)

化学反応(腐食)によって引き起こされる超小型電子部品の故障を排除するために、部品の内部ガス組成を知る必要があります。 MIL-STD-883、MIL-STD 750、メソッド1018は、一般に、内部水蒸気含有量の仕様として認められています。 残留ガス分析(RGA)のテスト方法では、RGA機器のキャリブレーションとデバイスのテストの手順、および内部の水蒸気含有量の最大許容限界を定義します。 EAGラボラトリーズは、MIL-STD-883、750、メソッド1018に適したDLA(国防兵站局)ラボとして長年の経験があります。

残留ガス分析とは?

RGAは、水分含有量分析以上のものに役立ちます。 EAGのRGAテストシステムは、140 AMUまでのすべての質量を検出することができ、一般的なガスを特定して定量化することができます。 プロセス雰囲気のサンプルと異常な密閉環境を分析して、ガスの発生または吸収を検出することができます。 システムソフトウェアは、コンポーネント内のガスの全スペクトルと同様に、水分含有量を決定できます。

集積回路

EAGは、日常的なRGA分析を提供することに加えて、「問題のある」内部ガスの原因を特定し、必要に応じて是正措置を提供するための技術的専門知識を備えています。 RGAテストを提供してきた長年の経験に基づいて、プロセス改善のためのコンサルティングを提供できます。 ロサンゼルスラボ(旧称SEAL Laboratories) と フォートコリンズ(旧Pernicka Corporation).

電子部品の寿命は予測可能な傾向に従います。 かなりの数のコンポーネントが非常に早い年齢で早期に故障します(「乳児死亡率」)。 この最初の障害段階を過ぎると、通常、障害の可能性が非常に低く、長期間実行されます。

信頼性の高い電子部品は、交換の機会がほとんどまたはまったくなく、長期間動作する必要があることがよくあります。 軌道衛星はこの状況の良い例です。 「スペース使用量」の要件を満たす部品は、交換が困難なアプリケーションや故障によって大きなリスクが発生するアプリケーションでも使用されます。

乳児死亡率の問題は、製造中に厳格な品質管理を実施することで対処できます。 メタライゼーションのSEM検査、ガラス化分析、徹底的なプレキャップ検査、電気バーンイン、およびDPA手順により、それぞれの問題が特定されます。 老年期の故障は通常、ESDやEOSなどの一時的な現象、機械的衝撃、熱エクスカーション、または腐食などの化学反応のいずれかに関連しています。

EAGで利用可能なMIL-STD-883テスト:

RGAの理想的な使用法

  • パッケージ: DIP、クアッドパック、TO-x缶、金属蓋付きデバイス、フィラーガスコンテナ、およびその他の多くの形状を分析できます

強み

  • 分子量が1〜140質量単位のすべてのガスは、サーベイスキャンで識別できます。または、最大16の成分を事前に選択して定量分析を行うことができます。

制限事項

  • パッケージは、0.01cc以上のキャビティサイズで密閉する必要があります

RGA技術仕様

  • ボリューム: 0.01ccから25ccのボリュームを分析できます。 精密X線撮影技術を使用して包装の容積を測定する
  • 分析: 分子量が1〜140質量単位のすべてのガスは、サーベイスキャンで識別できます。または、最大16の成分を事前に選択して定量分析を行うことができます。
  • MIL-STD-883 / 750テスト: 窒素、酸素、アルゴン、二酸化炭素、水分、水素、ヘリウム、フルオロカーボン、メタン、およびアンモニアが測定され、報告されます

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