誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）

誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS）は、ミリグラムからナノグラムレベル/リットルの元素を検出できる、利用可能な最も感度の高い多元素分析技術のXNUMXつです。 そのため、半導体産業における不純物モニタリング、環境モニタリング、地球化学分析、鉱業および冶金、製薬分析など、さまざまな業界で最も重要な分析技術のXNUMXつとして認識されています。 ICP-MSは、周期表のほとんどの元素に対して非常に高い感度（つまり、低い検出限界）を提供します。

固体サンプルは通常、分析前に溶解または分解されます。 誘導結合プラズマは非常に強力なイオン化源であり、サンプルをその構成要素に完全に分解し、それらの要素をイオンに変換します。 その後、これらのイオンは抽出され、検出のために質量分析計に加速されます。 次に、イオン強度の取得は、キャリブレーション標準との比較によって濃度単位に変換されます。 この手法は、正確な化学分析に特に強力です。

ICP-MSの理想的な使用法

• 固体、液体、表面汚染物質、浸出物および抽出物の微量および超微量元素分析（ppm – ppb）
• 調査分析（R＆D、FA、フォレンジック）
• 生産サポート
• 規制およびコンプライアンス分析

強み

• 周期表のほとんどの元素は、高精度かつ正確に単一の分析で測定することができます
• 表面汚染物質、浸出物、抽出物、またはバルク不純物の高感度検出を可能にする多様な代表的なサンプリング方法
• 液体から固体、無機から有機、単純な組成物から複合材料まで、さまざまなサンプルに適用できます。
• 動的反応セル（DRC）技術は多原子同重体干渉を事実上排除します
• ICP-OESとICP-MSの組み合わせは、主成分から非常に低いレベル（通常はサブppb）まで、幅広い元素濃度を高い精度と精度で測定するのに非常に強力です。

制限事項

• サンプル前処理–固体の分解手順は、多くの場合、複雑で時間がかかります。
• 多原子質量干渉
• 大気および軽ハロゲン

ICP-MS技術仕様

• 検出されたシグナル： 安定同位体の陽イオン
• 固体サンプルサイズの要件：250mgから1グラム
• サンプリングされた典型的な溶液量：1〜10 mL
• 検出された要素 周期表のほとんどの元素
• 干渉の影響を減らす：マトリックス分離、衝突モード、反応モード、動的反応セル（DRC）、運動エネルギー弁別（KED）、トリプルクワッド
• 典型的な検出範囲：Lあたりのng
• イメージング/マッピング： いいえ