カソードルミネッセンス(CL)は、高エネルギー電子(陰極線)と発光材料との相互作用によって生成される、可視光(VIS)から近赤外光(NIR)までの範囲の電磁放射または光です。 放出される光は、サンプルの光学的および電子的特性に関する非常に具体的な情報を伝達します。
可視光を収集する特殊な 走査型電子顕微鏡(SEM)、可視光を収集し、対応するサンプル構造(SE)とCL発光マップをサブマイクロメートルの分解能で同時に取得できます。 場合によっては、CLの空間分解能は30〜50nmにもなります。 CLマッピングは、断面(XS)または平面図(PV)の両方で実行して、サンプルの局所的な組成、ドーピング、構造、および欠陥をすべて非常に高い空間分解能で特徴付けることができます。
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