集束イオンビーム(FIB)機器は、微細に集束されたイオンビームを使用して、目的のサンプルを修正およびイメージングします。 FIBは主に、 SEM, STEMまたはTEM のイメージング用に非常に正確な断面の作成や、回路の変更を実行するために使用されます。 さらに、FIBイメージングを使用してサンプルを直接イメージングし、イオンまたは電子ビームから放出された電子を検出することができます。 FIBのコントラストメカニズムはSEMやS / TEMとは異なるため、場合によっては固有の構造情報を取得できます。 デュアルビームFIB / SEMはこれら2つの技術を1つのツールに統合しているのに対して、シングルビームFIBはイオンビームのみを含み、電子ビームイメージングは別のSEM、TEMまたはSTEM装置で行われます。
サンプル前処理ツールとして、FIBは他の方法では作成できないサンプルの断面を正確に作成することができます。
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