高度な顕微鏡検査サービス
高度な顕微鏡技術 SEM（走査型電子顕微鏡）, TEM（透過型電子顕微鏡） と デュアルビームSEM サンプルの微細構造、形態、粒子サイズ、粒子コーティングおよび欠陥を調査するために不可欠な技術です。これらの観察技術に加えて、 EELS（電子エネルギー損失分光法） と EDS（エネルギー分散型X線分光法） などの元素マッピング機能を使用して、元素組成と位置/分布に関する貴重な情報を提供します。
EAGは、さまざまな大規模なインストールベースを提供します。 顕微鏡検査 プロセス開発から障害分析まで、アプリケーションに合ったツールとサービス。 高解像度のイメージングを提供することに加えて、当社の分析機能は、障害の研究、開発、および分析中に役立つユニークなパートナーになります。
顕微鏡技術は、多くの種類の欠陥を特徴づけるために使用することができます。 これらが含まれます：
- 金属の拡散：FIBの断面とSTEM / EDSによる調査
- ボイド：FIB断面とSEMによる調査
- 粒子：表面の観察またはFIB断面により、積層構造内のサイズ、化学、構造を調査
- クラックと層間剥離： FIB断面による局所的な調査またはアルゴンイオンミリング断面による大面積の調査により、剥離界面の位置と位置を決定します。必要に応じて、TEMによる元素分析により界面の化学的状態を決定できます。
- 厚さと均一性：FIBの断面とSEMによる調査
先端顕微鏡技術を使用して以下のような材料の評価が可能です：
- ナノ粒子
- 合金および金属
- 薄膜
- ガラス、シリコンまたは有機基板上のコーティング
- セラミックス
- 複合材料
- ICデバイス
- アルミニウム陽極酸化
顕微鏡の産業応用
顔認識、自動運転、バーチャルリアリティ、5Gコミュニケーションなどの新産業を可能にする新技術の急速な出現がありました。 これらの成長分野には通常、FinFET、VCSEL、およびIII / V化合物半導体が含まれます。 Advanced Microscopyチームの材料は、デバイスの故障が複雑な3D構造を持っていることが多いヘテロエピタキシー、立方、および六角形の格子を示しています。
最近のFIB技術の開発により、3Dロジックおよびメモリデバイスの高精度TEMサンプル調製が可能になりました。 この例は、22nm世代の3D FinFETデバイスからLでカットされたゲートのHAADF画像を示していますゲートEAG Laboratories Advanced Microscopyチームによる最近の論文で見られた〜30nm 顕微鏡および微量分析25（S2）：690-691（2019） 「電子顕微鏡の産業への応用：共有された研究所の展望」
別の興味深い例は、HR-STEMイメージングを使用して観察された窒化アルミニウム/炭化ケイ素界面を示す以下の写真です。
次の例では、GaN転位の入力を観察します。大角度収束ビーム電子回折（LACBED）を使用したハンバーガーベクトル解析
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