Sの選択された元素のSIMS検出限界i バルク分析条件下

アプリケーションノート

考察

SIMS HからUまでのすべての元素を優れた感度で検出できる強力な分析技術です。 この表は、バルク分析条件下でのSiマトリックス中の典型的なドーパントおよび不純物の検出限界のリストを示しています。

SIMS検出限界 -  Siアンダーバルク

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