同時デュアルEELSおよびEDSによる原子元素マッピング

はじめに

電子エネルギー損失分光法(EELS)およびエネルギー分散型分光法(EDS)は、走査型透過電子顕微鏡法(STEM)と組み合わせて、材料の構造情報とともに局所的な化学組成を提供します。 EDSは(のみ)重元素の検出に適しており、EELSは(のみ)軽元素に適していることが広く受け入れられています。 EELS分光計とEDS検出器の開発により、EELSとEDSは、それぞれ独自の強度と検出限界がありますが、今日では軽い元素と重い元素の両方で機能することができます。 EELSとEDSは独立して機能する可能性がありますが、EELSとEDSを同時に実行すると、包括的な化学情報が提供されます。

収差補正STEMの進歩に伴い、電子プローブのサイズはサブオングストロームレベルに減少し、同時にプローブ内の電流は大幅に増加します。 このような変更により、小さなプローブを使用した分析分析に十分な信号を収集できます。つまり、構造だけでなく、原子ごとの化学によっても研究できます。

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