L'ellipsométrie est un outil d'analyse puissant pour la caractérisation de films minces dans de nombreux matériaux, notamment les semi-conducteurs, les films diélectriques, les métaux et les polymères. Également connue sous le nom d'ellipsométrie spectroscopique (SE), il s'agit d'une technique optique sans contact et non destructive, qui mesure le changement de polarisation de la lumière réfléchie après interaction avec un échantillon. Ce changement de polarisation est lié aux propriétés du matériau.
L'ellipsométrie est principalement utilisée pour mesurer l'épaisseur du film, l'indice de réfraction (n) et le coefficient d'extinction (k), mais elle peut également être utilisée pour étudier d'autres propriétés qui affectent la polarisation de la lumière, telles que la rugosité, l'anisotropie optique (biréfringence), nature cristalline, composition, bande interdite optique et dilatation thermique. Veuillez noter que cette technique ne mesure pas directement ces paramètres. Afin d'extraire des informations utiles sur les couches minces, un modèle est construit qui décrit les paramètres optiques de l'échantillon. Ensuite, les paramètres inconnus sont ajustés pour obtenir une meilleure correspondance entre la réponse théorique et les données expérimentales.
Pour activer certaines fonctionnalités et améliorer votre expérience avec nous, ce site stocke des cookies sur votre ordinateur. Veuillez cliquer sur Continuer pour donner votre autorisation et supprimer définitivement ce message.
Pour en savoir plus, consultez notre Politique de confidentialité.