La spectrométrie de rétrodiffusion de Rutherford (RBS) est une technique de diffusion ionique utilisée pour l'analyse de la composition en couches minces. RBS est unique en ce sens qu'il permet la quantification sans utiliser d'étalons de référence. Au cours d’une analyse RBS, il utilise2+ les ions (c'est-à-dire les particules alpha) sont dirigés sur l'échantillon, et la distribution d'énergie et le rendement de l'He rétrodiffusé2+ ions à un angle donné est mesuré. La section efficace de rétrodiffusion de chaque élément étant connue, il est possible d'obtenir un profil de profondeur compositionnel quantitatif à partir du spectre RBS obtenu pour des films de moins de 1 µm d'épaisseur.
En plus de la composition élémentaire, le RBS peut être utilisé pour obtenir des informations sur la qualité cristalline des échantillons monocristallins. Cette technique, appelée « canalisation », peut sonder le degré d'endommagement d'un cristal ou déterminer la quantité d'espèces de substitution ou interstitielles dans un réseau.
EAG possède une expérience de classe mondiale dans l'analyse de couches minces à l'aide de la spectrométrie de rétrodiffusion de Rutherford, avec des instruments à granulés et tandétrons. L'expérience d'EAG dans l'analyse de tous types de Films minces (oxydes, nitrures, siliciures, diélectriques à haut et bas K, films métalliques, composés semi-conducteurs et dopants) permet des délais rapides, des données précises et un service interpersonnel de grande qualité.
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