Spectrométrie de rétrodiffusion de Rutherford (RBS)

La spectrométrie de rétrodiffusion de Rutherford (RBS) est une technique de diffusion ionique utilisée pour l'analyse de la composition en couches minces. RBS est unique en ce sens qu'il permet la quantification sans utiliser d'étalons de référence. Au cours d’une analyse RBS, il utilise2+ les ions (c'est-à-dire les particules alpha) sont dirigés sur l'échantillon, et la distribution d'énergie et le rendement de l'He rétrodiffusé2+ ions à un angle donné est mesuré. La section efficace de rétrodiffusion de chaque élément étant connue, il est possible d'obtenir un profil de profondeur compositionnel quantitatif à partir du spectre RBS obtenu pour des films de moins de 1 µm d'épaisseur.

En plus de la composition élémentaire, le RBS peut être utilisé pour obtenir des informations sur la qualité cristalline des échantillons monocristallins. Cette technique, appelée « canalisation », peut sonder le degré d'endommagement d'un cristal ou déterminer la quantité d'espèces de substitution ou interstitielles dans un réseau.

EAG possède une expérience de classe mondiale dans l'analyse de couches minces à l'aide de la spectrométrie de rétrodiffusion de Rutherford, avec des instruments à granulés et tandétrons. L'expérience d'EAG dans l'analyse de tous types de  Films minces (oxydes, nitrures, siliciures, diélectriques à haut et bas K, films métalliques, composés semi-conducteurs et dopants) permet des délais rapides, des données précises et un service interpersonnel de grande qualité.

Tutoriel RBS: Instrumentation

Tutoriel RBS: Théorie

Utilisations idéales de la spectrométrie de rétrodiffusion de Rutherford

  • Composition / épaisseur du film mince
  • Déterminer les concentrations surfaciques (atomes / cm2)
  • Déterminer la densité du film (lorsque l'épaisseur est connue)

Nos points forts

  • Analyse compositionnelle non destructive
  • Quantitatif sans normes
  • Analyse du conducteur et de l'isolant
  • Mesures d'hydrogène (en mode HFS)
  • Sensibilité aux éléments à faible facteur Z (en mode NRA)

Limites

  • Grande zone d'analyse (~ 2 mm)
  • Informations utiles limitées à environ 1 μm d'échantillons

Spécifications techniques de la spectrométrie de rétrodiffusion Rutherford

  • Signal détecté: Atomes de He rétrodiffusés
  • Éléments détectés: BU
  • Limites de détection: 0.001-10 à%
  • Résolution en profondeur: 100 à 200 Å
  • Imagerie / Cartographie: Non
  • Résolution latérale / taille de la sonde: 2 mm

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