Analyse de la réaction nucléaire (NRA)

L'analyse de la réaction nucléaire (NRA) est utilisée pour mesurer les éléments à faible teneur en Z (par exemple le carbone, l'azote, l'oxygène et le bore) dans des films minces. Au cours de l'analyse NRA, le projectile primaire induit une réaction nucléaire avec les noyaux à faible Z dans le film mince, conduisant à l'éjection de particules aux énergies cinétiques caractéristiques de réactions nucléaires spécifiques (c'est-à-dire d'éléments particuliers).

Très peu de laboratoires peuvent offrir la NRA commercialement ou égaler la profondeur et l'étendue de l'expérience d'EAG, des données précises et un service de personne à personne.

NRA peut être utilisé pour mesurer quantitativement la concentration totale de B, C, N, O et Li présente dans un film. Ces éléments peuvent être mesurés à une concentration beaucoup plus faible en utilisant NRA par rapport à RBS. En effectuant une NRA en combinaison avec du RBS, les concentrations d'éléments légers dans des films minces peuvent être déterminées.

Utilisations idéales de la NRA

  • Mesure de faibles niveaux de B, C, N, O et Li dans des films minces

Nos points forts

  • Analyse compositionnelle non destructive
  • Quantitatif sans normes
  • Analyse de plaquettes entières (jusqu'à 300 mm)
  • Analyse du conducteur et de l'isolant
  • Sensibilité aux éléments à faible Z

Limites

  • Grande zone d'analyse (~1-2 mm de diamètre)
  • Pas de résolution en profondeur
  • Chaque élément nécessite un projectile spécifique, de sorte que plusieurs mesures peuvent être nécessaires en fonction des éléments d'intérêt

Spécifications techniques de la NRA

  • Éléments détectés: C, N, O, B, Li
  • Limites de détection: 0.5 - 2 à%
  • Résolution en profondeur: Aucun
  • Imagerie / Cartographie: Non
  • Résolution latérale / taille de la sonde: ~1-2mm

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