Spectrométrie de diffusion directe à l'hydrogène (HFS)

La spectrométrie à diffusion directe de l'hydrogène (HFS) est une technique de diffusion ionique utilisée pour déterminer quantitativement la distribution verticale de l'hydrogène dans des films minces. Au cours du processus, il2+ les ions frappent la surface de l'échantillon selon un angle de projection, projetant des atomes d'hydrogène sur l'échantillon, qui peuvent ensuite être analysés à l'aide d'un détecteur à l'état solide.

La capacité de mesurer la composition et la distribution verticale de la teneur en hydrogène dans un film mince peut être critique en raison de l'impact potentiel de l'hydrogène sur les propriétés physiques ou électriques d'un film. D'autres techniques, telles que la spectroscopie électronique Auger (AES), la spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (EDS) et la spectroscopie photoélectronique à rayons X (XPS), ne peuvent pas détecter l'hydrogène ; et tandis que SIMS peut mesurer l'hydrogène, la quantification de l'hydrogène par SIMS peut être difficile et nécessite des normes. Cela fait de HFS une technique particulièrement utile pour l'analyse de couches minces.

Très peu de laboratoires sont en mesure d'offrir HFS. L'expérience d'EAG permet un délai d'exécution rapide, des données précises et un service de personne à personne, vous garantissant de comprendre ce que les résultats signifient pour vos matériaux et processus.

Utilisations idéales de HFS

  • Analyse d'hydrogène de films minces

Nos points forts

  • Mesure non destructive de la composition en H
  • Analyse de plaquettes entières (jusqu'à 300 mm)
  • Analyse du conducteur et de l'isolant

Limites

  • Grande zone d'analyse (1×7 mm)
  • Informations utiles limitées aux couches minces (<0.4 m)
  • Résolution en profondeur de 300 Å

Spécifications techniques HFS

  • Signal détecté: Atomes H diffusés vers l'avant
  • Éléments détectés: 1H, 2H
  • Limites de détection: 0.1-0.5 à%
  • Résolution en profondeur: ~ 300 Å
  • Imagerie / Cartographie: Non
  • Résolution latérale / taille de la sonde: 1×7 mm

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