Spectroscopie électronique Auger (AES, Auger)

La spectroscopie électronique Auger (AES ou Auger) est une technique analytique sensible à la surface qui utilise un faisceau d'électrons de haute énergie comme source d'excitation. Les atomes qui sont excités par le faisceau d'électrons peuvent ensuite se détendre, conduisant à l'émission d'électrons «Auger». Les énergies cinétiques des électrons Auger émis sont caractéristiques des éléments présents dans les 3 à 10 nm supérieurs de l'échantillon.

Diagramme SMART de spectroscopie électronique Auger

AES fait partie de notre Série Smart Chart. De plus, en raison de la gamme de tailles de spot, il offre une excellente sensibilité de surface et une petite taille de spot.

Cette technique a été nommée d'après le physicien français Pierre Victor Auger en 1923. Cependant, la plupart des gens reconnaissent maintenant le physicien austro-suédois Lise Meitner comme la personne qui a découvert pour la première fois que l'émission d'électrons à partir de surfaces d'atomes peut créer des signatures énergétiques.

Applications clés

Avec un petit diamètre de faisceau d'électrons, l'AES est très utile pour investir des particules et de petites zones, car il a la capacité d'étudier des tailles inférieures à 25 nm. Il fournit également une bonne alternative lorsque les films minces sont trop minces pour Analyse EDS. AES peut échantillonner des piles de couches minces jusqu'à une profondeur d'un micron ou plus avec la pulvérisation cathodique.

L'AES est avant tout une méthode semi-quantitative, ce qui signifie que nous fournissons généralement des résultats basés sur des facteurs de sensibilité standard fournis par le fabricant de l'équipement. Lorsque des résultats plus précis sont nécessaires, ceux-ci peuvent être obtenus en examinant des compositions connues et en les comparant au matériau inconnu.

Le faisceau d'électrons peut être balayé sur une zone de taille variable, ou il peut être directement focalisé sur une caractéristique de surface spécifique d'intérêt. Cette capacité à focaliser le faisceau d'électrons à des diamètres de 10-20 nm rend La spectroscopie électronique Auger est un outil extrêmement utile pour l'analyse élémentaire de petites caractéristiques de surface. D'autres techniques qui peuvent également être envisagées sont XPS et TXRF. Lorsqu'elle est utilisée en combinaison avec un pistolet ionique de pulvérisation, la spectroscopie électronique Auger peut également effectuer un profilage de la profondeur de composition.

Utilisations idéales de la spectroscopie électronique Auger

  • Analyse des défauts
  • Analyse de particules
  • Analyse de surface
  • Profil de profondeur sur de petites surfaces
  • Composition d'analyse de film mince
  • Analyse métallurgique

Nos points forts

  • Tout d'abord, analyse de petite zone (~ 20 nm minimum)
  • Deuxièmement, excellente sensibilité de surface (profondeur d'informations de 3 à 10 nm)
  • Troisièmement, une bonne résolution en profondeur

Limites

  • Normes requises pour une meilleure quantification
  • Les isolateurs peuvent être difficiles
  • Les échantillons doivent être compatibles avec le vide
  • Sensibilité de détection généralement 0.1-1 à%

Spécifications techniques de la spectroscopie électronique Auger

  • Signal détecté: Electrons Auger des atomes proches de la surface
  • Éléments détectés: Li-U
  • Limites de détection: 0.1-1% atomique; sous-monocouche
  • Résolution de profondeur: 2-20 nm (en mode profilage de profondeur)
  • Imagerie / Cartographie: Oui
  • Résolution latérale / taille de la sonde: ≥10 nm

EAG possède une expérience inégalée dans la gestion des demandes d'analyse Auger routinières et non routinières et, depuis de nombreuses années, utilise la spectroscopie électronique Auger pour répondre à une grande variété d'applications analytiques industrielles.

L'expertise approfondie d'EAG en spectroscopie électronique Auger présente des avantages analytiques directs, que nous analysions des particules inférieures au μm pour déterminer les sources de contamination dans les équipements de traitement de plaquettes ou que nous analysions les défauts des dispositifs électroniques pour rechercher la cause première des défaillances. Enfin, l'analyse Auger a de nombreuses applications dans métallurgique études, y compris dans la détermination de l'épaisseur de la couche d'oxyde de particules dispositifs médicaux, et EAG s'appuie continuellement sur son expérience pour aider à résoudre les problèmes exigeants des clients dans de nombreux secteurs industriels.

 

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