L'EGA est une méthode de surveillance de petites quantités de molécules de gaz dégagées à partir d'échantillons lorsqu'ils sont chauffés au-dessus de la température ambiante. Cette analyse peut être principalement utilisée pour déterminer: (1) la composition des gaz dégagés (2) la concentration des gaz dégagés (3) le profil d'évolution par rapport à la température de chauffage. Ces informations sont vitales pour le contrôle qualité, l'analyse des défaillances ou l'établissement d'un protocole pour un processus de fabrication.
Chez EAG Laboratories, nous utilisons avec succès l'analyse des gaz évolués pour une variété d'échantillons fournissant des solutions à différentes industries, notamment les semi-conducteurs, l'aérospatiale et la défense, les revêtements et les adhésifs, le stockage d'énergie, les batteries et les dispositifs médicaux.
Qu'est-ce que l'analyse des gaz évolués (EGA)?
Les molécules de gaz se dégagent d'une surface/solides/poudres lorsqu'elles sont chauffées au-dessus de la température ambiante. Dans la méthode EGA, un échantillon est évacué pour minimiser le gaz de l'environnement. Lorsque le vide atteint un niveau de fond, l'échantillon est chauffé et les gaz dégagés sont ensuite détendus jusqu'au volume du spectromètre de masse. À l'aide d'un filament d'iridium revêtu de thoria, les gaz sont ionisés pour faciliter la séparation des masses à l'aide d'un analyseur de masse quadripolaire. Les courants ioniques positifs sont mesurés à l'aide d'un multiplicateur d'électrons, fournissant l'intensité de chaque gaz libéré de l'échantillon.
Semi-quantitatif
Analyse qualitative
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Représentation 3-D montrant les signaux de libération de masse pour différentes masses par rapport à la température de dégazage. La comparaison entre la tranche de Si chimiquement traitée et non traitée montre clairement l'effet du traitement de nettoyage. Libération plus élevée pour la masse 44 (par exemple, CO2) et la masse 28 (par exemple, N2/ CO) est observé pour l'échantillon non traité.
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