La spectrométrie de masse ionique secondaire (SIMS) détecte de très faibles concentrations de dopants et d'impuretés. La technique fournit des profils de profondeur élémentaire sur une large plage de profondeur allant de quelques angströms (Å) à des dizaines de micromètres (µm). La surface de l'échantillon est pulvérisée/gravée avec un faisceau d'ions primaires (généralement O2+ ou Cs+) tandis que les ions secondaires formés lors du processus de pulvérisation cathodique sont extraits et analysés à l'aide d'un spectromètre de masse (quadrupôle, secteur magnétique ou Temps de vol). Les ions secondaires peuvent avoir une concentration allant de niveaux de matrice jusqu'à des niveaux de traces inférieurs à ppm.
EAG est le standard de l'industrie pour l'analyse SIMS, offrant les meilleures limites de détection, ainsi qu'une identification précise de la concentration et de la structure des couches. La profondeur et l'étendue de l'expérience et de l'engagement d'EAG dans la recherche et le développement dans le domaine SIMS sont inégalés. EAG possède la plus grande gamme d'instruments de spectrométrie de masse ionique secondaire au monde (plus de 40), dotés de scientifiques exceptionnellement qualifiés. EAG possède également la plus grande bibliothèque de matériaux de référence au monde d'étalons implantés par ions et dopés en masse pour une quantification SIMS précise.
Les scientifiques SIMS d'EAG sont spécialement formés et aptes à comprendre les besoins analytiques de nos clients et à optimiser les analyses pour répondre le plus efficacement possible à leurs préoccupations et intérêts. Aujourd'hui, l'analyse SIMS est utilisée pour aider les clients dans une variété d'industries pour la recherche et le développement, le contrôle qualité, l'analyse des défaillances, le dépannage et la surveillance des processus. EAG fournit un service personnalisé tout au long du processus pour permettre une compréhension complète des résultats des tests de laboratoire SIMS.
Tutoriel SIMS: Instrumentation
Limites de détection SIMS des éléments sélectionnés
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