Microscopie électronique à balayage (MEB)

La microscopie électronique à balayage (MEB) fournit des images à haute résolution et à grande profondeur de champ de la surface de l'échantillon et près de la surface. Le SEM est l'un des outils d'analyse les plus utilisés, en raison des images extrêmement détaillées qu'il peut fournir rapidement. Couplé à un auxiliaire Spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (EDS) Détecteur, SEM offre également une identification élémentaire de presque tout le tableau périodique.

EAG utilise l'analyse SEM dans les cas où la microscopie optique ne peut pas fournir une résolution d'image suffisante ou un grossissement suffisamment élevé. Le MEB excelle également dans la production d'images de topographie de surface détaillées. Les applications incluent l'analyse des défaillances, l'analyse dimensionnelle, la caractérisation des processus, l'ingénierie inverse et l'identification des particules.

L'expertise et la gamme d'expériences d'EAG sont inestimables pour les industries et les clients que nous servons. Le service de personne à personne garantit une bonne communication des résultats et de leurs implications. Les clients sont souvent présents lors de l'analyse, ce qui permet un partage immédiat des données, des images et des informations.

Utilisations idéales de la microscopie électronique à balayage

  • Images de topographie de surface à haute résolution
  • Microanalyse élémentaire et caractérisation des particules

Nos points forts

  • Imagerie rapide haute résolution
  • Identification rapide des éléments présents
  • Excellente profondeur de champ (~100x celle de la microscopie optique)
  • Plateforme polyvalente prenant en charge de nombreuses autres techniques d'analyse
  • Le mode basse dépression permet d'imager des échantillons isolants et hydratés

Limites

  • Peut-être besoin de graver des échantillons plans pour le contraste
  • Les restrictions de taille peuvent nécessiter de couper l'échantillon
  • La résolution ultime dépend fortement de la chimie de l'échantillon et de la stabilité dans le faisceau d'électrons
  • Si une analyse de surface UHV est nécessaire, il faut l’effectuer d’abord pour éviter toute introduction possible de carbone en surface par le MEB.

Spécifications techniques de la microscopie électronique à balayage

  • Signaux détectés: Électrons secondaires et rétrodiffusés et rayons X, lumière (cathodoluminescence) et courant induit par faisceau d'électrons (EBIC)
  • Éléments détectés: BU (mode EDS)
  • Limites de détection: 0.1-1 à%
  • Résolution de profondeur EDS Chemical: 0.1-3 microns
  • Imagerie / Cartographie: Oui
  • Résolution latérale / taille de la sonde: 10 à 30 Å

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