La cathodoluminescence (CL) est un rayonnement électromagnétique, ou lumière, allant du visible (VIS) au proche infrarouge (NIR) créé par l'interaction d'électrons de haute énergie (rayons cathodiques) avec un matériau luminescent. La lumière émise porte des informations très précises sur les propriétés optiques et électroniques de l'échantillon.
En utilisant un spécialisé Microscope électronique à balayage (MEB) qui a une collection de lumière visible, la structure d'échantillon correspondante (SE) et les cartes d'émission CL peuvent être acquises simultanément avec une résolution submicrométrique. Dans certains cas, la résolution spatiale CL peut atteindre 30 à 50 nm. La cartographie CL peut être effectuée sur les deux sections transversales (XS) ou en vue en plan (PV) pour caractériser la composition localisée, le dopage, la structure et les défauts d'un échantillon, le tout avec des résolutions spatiales très élevées.
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