Microscopie à force atomique (AFM)

L'analyse par microscopie à force atomique (AFM) fournit des images avec une résolution proche de l'atome pour mesurer la topographie de surface.  L'AFM est également appelé Microscopie à sonde à balayage. Il est capable de quantifier la rugosité de surface des échantillons jusqu'à l'échelle de l'angström. En plus de présenter une image de surface, l'analyse AFM peut également fournir des mesures quantitatives des tailles d'entités, telles que les hauteurs de marche et d'autres dimensions. De plus, les modes avancés de mesures de microscopie à force atomique permettent la cartographie qualitative de diverses autres propriétés physiques, telles que l'adhésion, le module, la distribution du dopant, la conductivité, le potentiel de surface, le champ électrique et les domaines magnétiques.

Analyse AFM

De plus, l'AFM fait partie de la section d'imagerie du Graphique SMART

Utilisations idéales de l'AFM

  • Évaluation des plaquettes ou des films minces sur des plaquettes (par exemple, SiO2, GaAs, SiGe, etc.) avant et après traitement
  • Recherche des effets de traitement (traitement au plasma, par exemple) sur dispositifs biomédicaux tels que lentilles de contact, cathéters et endoprothèses enduites
  • Examen de l'impact de la rugosité de surface sur l'adhérence
  • Évaluation de la forme / propreté des tranchées sur des plaquettes traitées / à motifs
  • Déterminer si la morphologie est la source des effets de surface
  • Cartographie de la distribution des transporteurs activés
  • Caractériser l'uniformité des films conducteurs minces
  • Mesure des hauteurs de pas entre les domaines sur des plaquettes à motifs
  • Imagerie topographique de surface tridimensionnelle, y compris la rugosité de la surface, la taille du grain, la hauteur du pas et le pas
  • Imagerie d'autres caractéristiques de l'échantillon, y compris le champ magnétique, la capacité et le frottement
  • L'imagerie de phase permet d'étudier les caractéristiques physiques des surfaces, telles que le module et l'adhérence

Nos points forts

  • Premièrement, quantifier la rugosité de surface
  • Deuxièmement, les plaquettes jusqu'à 300 mm peuvent être analysées intactes
  • Troisièmement, haute résolution spatiale
  • Enfin, imagerie d'échantillons conducteurs et isolants

Limites

  • Limites de la plage de balayage: 90 µm latéralement (xy) et 5 µm verticalement dans la direction z
  • Problèmes potentiels avec des échantillons extrêmement rugueux ou de forme irrégulière
  • Les erreurs induites par la pointe sont possibles
  • De nombreux modes électriques et magnétiques sont limités à des mesures qualitatives ou semi-quantitatives

Spécifications techniques de l'AFM

  • Signal détecté: Topographie
  • Résolution verticale: 0.1 Å
  • Imagerie / Cartographie: Oui
  • Résolution latérale / taille de la sonde: 2 à 150 nm
  • Modes d'analyse avancés:
    • SCM: microscopie de capacité à balayage
    • C-AFM: AFM conducteur
    • THON : Tunneling AFM
    • KPFM: microscopie à force de sonde Kelvin
    • SSRM: microscopie à résistance à l'étalement à balayage
    • EFM: microscopie à force électrostatique
    • MFM: microscopie à force magnétique
    • PFQNM: microscopie nanomécanique quantitative à force de crête

En conclusion, les laboratoires EAG peuvent offrir des services AFM qui peuvent résoudre votre problème lié aux matériaux. Enfin, veuillez nous contacter au 800-366-3867 ou remplir le formulaire pour qu'un expert discute de vos besoins en imagerie AFM.

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