FIB Circuit Edit & Debug

Les services de faisceau d'ions focalisés ou d'édition de circuits FIB permettent au client de couper des traces ou d'ajouter des connexions métalliques dans une puce. Nos services comprennent la préparation d'échantillons, l'analyse d'échantillons, l'isolation des défauts et les modifications réelles des circuits. Ces modifications de circuits pourraient prendre en charge la caractérisation de base de la conception électrique ou la vérification des paramètres de reconception. Notre gamme complète d'outils de débogage vous permet de résoudre même les défaillances logiques les plus vexantes et autres anomalies.

L'édition de circuit FIB utilise un faisceau d'ions Ga+ finement focalisé pour imager, graver et déposer des matériaux sur un circuit intégré. La résolution de 4 à 5 nm du faisceau permet d'effectuer des modifications extrêmement précises. Le FIB est couplé à un système de navigation (Knights/Camelot/Lavis) fournissant une méthode pour trouver les caractéristiques du sous-sol et s'assurer que les bonnes modifications sont effectuées. Le faisceau de Ga à haute énergie peut broyer des conducteurs et, en utilisant les chimies de gaz appropriées, le tungstène, le platine ou le dioxyde de silicium peuvent être déposés avec précision à l'aide du faisceau d'ions.

Les modifications de circuits à faisceaux ioniques focalisés peuvent être effectuées rapidement et facilement, pour une petite fraction du coût d'un nouveau lot de plaquettes dans une usine. Les modifications de circuit sont souvent effectuées une fois qu'un défaut de conception a été identifié pour garantir que le correctif proposé résoudra l'intégralité du problème. Grâce à notre équipement de pointe et à nos techniques spécialisées, nous pouvons éditer des circuits à des nœuds de processus avancés tels que 28 nm, 20 nm et 14 nm avec des empilements métalliques à plusieurs couches, ainsi que l'édition arrière pour les boîtiers de puces à bascule. Notre ingénieurs électroniciens ont de nombreuses années d'expérience dans la Silicon Valley et possèdent les connaissances et les capacités nécessaires pour répondre aux demandes les plus exigeantes. Les montages FIB nécessitent souvent des délais d'exécution rapides et ne peuvent pas se permettre des erreurs - nos années d'expérience et notre concentration sur la satisfaction du client font d'EAG le choix intelligent dans l'édition de circuits.

Les services d'édition de circuits FIB d'EAG incluent les processus suivants, qui peuvent tous être exécutés avec une précision d'environ 20 nm :

  • Dépôt de métal
  • Dépôt diélectrique
  • Gravure métallique et diélectrique, y compris amélioration de la gravure chimique spécifique au matériau
  • Imagerie du dispositif utilisant le faisceau d'ions incident

Ces fonctionnalités permettent à FIB d’exécuter certaines fonctions clés:

  • Édition de circuits en connectant et en coupant les lignes de signaux afin de modifier la logique des circuits
  • Formation de tampon de sonde à des emplacements spécifiques en exposant la trace souhaitée et en se connectant à un tampon de sonde nouvellement formé
  • Augmenter ou diminuer la résistance dans un circuit
  • Analyse de défaillance: La localisation du défaut du contraste de tension passive (PVC) FIB est plus sensible et plus reproductible que celle du défaut correspondant. SEM. Lorsqu'une caractéristique intéressante est observée, le FIB est capable de fournir des informations supplémentaires pour aider à déterminer la cause première.
    • La région défectueuse peut être marquée dans la FIB pour une caractérisation plus poussée
    • Le défaut peut être sectionné et imagé dans le FIB
    • Le défaut peut être isolé en coupant les composants de circuit adjacents appropriés

Contactez-nous dès aujourd'hui pour découvrir comment les services d'édition de circuits FIB d'EAG peuvent vous aider avec la conception électrique char {"type": "block", "srcIndex": 0, "srcClientId": "091cce9e-97fa-446f-bf11-e8ce5c8fa4a7 ″," srcRootClientId ”:” E3e6ad13-e0dc-44db-9675-8e9d874b56ba ”} activation ou vérification des projets de refonte.

De nombreux experts de notre industrie estiment que Modifier le circuit l'utilisation d'un faisceau d'ions focalisé n'est plus possible pour les nœuds de processus inférieurs à 20 nm. EAG Laboratories a été en mesure d'aider nos clients avec des modifications de circuits sur des géométries à l'échelle nanométrique à un chiffre. Avec le coût croissant du développement de périphériques sur des nœuds avancés atteignant plus de 10 millions de dollars, cette note d'application discutera des utilisations typiques et de la façon dont nos ingénieurs repoussent les limites de cette technique pour permettre une correction précoce de toute erreur de périphérique, et permettre également la capacité pour générer des centaines d'échantillons édités pour des démonstrations client, et un développement continu et des tests d'ingénierie.

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