Limites de détection SIMS des éléments sélectionnés en Si et SiO2 dans des conditions de profil de profondeur normales

NOTE D'APPLICATION

DISCUSSION

SIMS est une technique analytique puissante qui permet de détecter tous les éléments de H à U avec une excellente sensibilité. Le tableau fournit une liste des limites de détection typiques des impuretés dans les matrices Si et SiO2. Ces niveaux de détection correspondent aux conditions normales de profilage en profondeur des plaquettes de couverture. Les niveaux de détection pour les échantillons de périphériques dépendent de la taille de la zone d'analyse disponible.

SIMS-Detection-Limits-Si
SIMS-Detection-Limits-SiO2

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