Limites de détection SIMS des éléments sélectionnés dans ZnO dans des conditions normales de profilage de profondeur

NOTE D'APPLICATION

SIMS ZnO - LIMITES DE DETECTION DE SIMS D'ELEMENTS SELECTIONNES DANS ZNO DANS DES CONDITIONS DE PROFILAGE DE PROFONDEUR NORMALES

Superposition de deux profils SIMS distincts d'un implant d'arsenic dans du ZnO.

Superposition de deux séparés SIMS profils d'un implant d'arsenic dans ZnO. Une excellente reproductibilité est démontrée dans cet exemple, ainsi que les limites de détection limitées à la vitesse de comptage d'environ 1e16 à / cm3.

Superposition de plusieurs espèces dans un seul profil SIMS pour un échantillon de ZnO contenant des implants de Ti, Cr, Ni et Cu.

Superposition de plusieurs espèces en une seule Profil SIMS pour un échantillon de ZnO contenant des implants de Ti, Cr, Ni et Cu.

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