Analyse SIMS de l'individu SiParticules C pour une mesure précise de la concentration en vrac
NOTE D'APPLICATION
DISCUSSION
En utilisant une technique spéciale de préparation des échantillons et une nouvelle SIMS protocole analytique, les particules individuelles de SiC d’une taille allant de 100 um à 500 um dans un échantillon de poudre de SiC peuvent être analysées. Cette approche innovante élimine les contributions de contamination de surface à la concentration en vrac.
N profils pour deux particules de SiC différentes provenant du même lot d'échantillons de poudre. Les résultats SIMS pour ces deux particules montrent une bonne cohérence de la concentration en vrac.