Contamination organique sur les surfaces

NOTE D'APPLICATION

DISCUSSION

Comme la performance de semi-conducteurs, optoélectronique et les dispositifs photoniques se sont améliorés, la tolérance à la contamination moléculaire a diminué. le identification de contamination organique sur des surfaces a traditionnellement été tentée par plusieurs techniques analytiques (FTIR, XPSet GC / MS). Spectrométrie de masse à ions secondaires à temps de vol (TOF-SIMS) est une technique analytique extrêmement sensible à la surface qui permet d'analyser les contaminants organiques et inorganiques à de très faibles niveaux. TOF-SIMS peut souvent identifier un contaminant organique avec ou sans l'aide de matériaux de référence. Dans l'exemple ci-dessous, des gouttelettes ont été observées optiquement sur une surface à des niveaux trop bas pour être examinés par FTIR (les gouttelettes individuelles mesuraient ~ 1 um). L'analyse TOF-SIMS a identifié le contaminant comme étant du pentaérithrytol
tétraoctanoate (C37H68O8) utilisé comme lubrifiant pour machines.

Le spectre TOF-SIMS des gouttelettes présentant des pics de masse compris entre 320-500u est présenté dans la figure du haut, tandis que celui du bas provient d'une zone de contrôle située à la surface. Les gouttelettes ont été déterminées comme étant du tétraoctanoate de pentaérithrytol.

Le spectre TOF-SIMS des gouttelettes présentant des pics de masse compris entre 320-500u est présenté dans la figure du haut, tandis que celui du bas provient d'une zone de contrôle située à la surface. Les gouttelettes ont été déterminées comme étant du tétraoctanoate de pentaérithrytol.

Images TOF-SIMS montrant, de haut en bas, l'image totale des ions, la distribution du fluorolubrifiant et une série de pics organiques dans la gamme 320-500u. Le spectre de masse de la zone des gouttelettes uniquement est indiqué dans le spectre du haut.

Images TOF-SIMS montrant, de haut en bas, l'image totale des ions, la distribution du fluorolubrifiant et une série de pics organiques dans la gamme 320-500u. Le spectre de masse de la zone des gouttelettes uniquement est indiqué dans le spectre du haut.

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