Évaluation de l'efficacité du nettoyage

NOTE D'APPLICATION

DISCUSSION

La suppression de contamination de surface est un objectif commun de tous les processus de nettoyage. Malheureusement, toutes les étapes de nettoyage ne sont pas aussi efficaces et certains procédés peuvent en réalité laisser des contaminants supplémentaires. Spectroscopie photoélectronique à rayons X (XPS) est analyse de surface outil bien qualifié pour caractériser les processus de nettoyage. La capacité de XPS à quantifier la concentration de toutes les espèces élémentaires sauf l'hydrogène et l'hélium permet de contrôler l'efficacité de l'élimination de la contamination en fonction des processus de nettoyage.

Les spectres indiqués ci-dessous proviennent d'un échantillon de verre avant et après plusieurs étapes de nettoyage. L'intensité relative des pics de sodium (Na) et de carbone (C) diminue après le nettoyage, tandis que les pics du substrat de verre (par exemple, le silicium et l'oxygène) augmentent en intensité relative à mesure que la surface devient plus propre. Le tableau montre la concentration des éléments avant et après le nettoyage. La première étape réduit le niveau de Na, mais augmente la concentration en C. L'étape de traitement suivante élimine la majorité du C, laissant une surface de verre plus propre.

EVALUATION DE L'EFFICACITÉ DU NETTOYAGE

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