Caractérisation de la contamination de surface

NOTE D'APPLICATION

DISCUSSION

Caractérisation élémentaire des défauts et Contamination on surfaces est une nécessité pour analyse d'échec. Spectrométrie à rayons X à dispersion d'énergie (EDS), combiné avec Microscopie électronique à balayage (MEB) fournit un outil rapide et efficace pour caractériser les particules et les défauts de l'ordre de 1µm ou plus. Les instruments modernes permettent de détecter les éléments légers (B à F), ainsi que les éléments Z supérieurs, et d'imager simultanément plusieurs éléments. La distribution latérale de sept éléments est illustrée à la figure 1 avec les images d'électrons secondaires et d'électrons rétrodiffusés. A partir de cette collection d'images, il est facilement déterminé que la contamination est un conglomérat de matériaux contenant du carbone et d'oxydes de Mg, Al et Si.

Figure 1 Image électronique secondaire (SEI) du défaut de surface et images élémentaires EDS associées et image électronique rétrodiffusée.

Pour les particules et les défauts plus petits que 1 micron, un outil idéal est Spectroscopie électronique Auger (AES). Avec cet instrument, des caractéristiques aussi petites que 200Å peuvent être caractérisées de manière élémentaire. Un exemple est donné à la figure 2. Le spectre d'étude Auger d'une particule 500Å sur une tranche de silicium révèle que la particule contient de l'aluminium.

Figure 2: spectre de sondage Auger (en bas) de la particule 500 Å présentée dans l'image électronique secondaire (en haut à gauche) révèle une contamination par l'aluminium. La carte Al est affichée en haut à droite.

Figure 2: spectre de sondage Auger (en bas) de la particule 500 Å présentée dans l'image électronique secondaire (en haut à gauche) révèle une contamination par l'aluminium. La carte Al est affichée en haut à droite.

Figure 2 Le spectre de sondage Auger (en bas) de la particule 500 Å présentée dans l'image électronique secondaire (en haut à gauche) révèle une contamination par l'aluminium. La carte Al est affichée en haut à droite.

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