Cartographie élémentaire atomique par double EELS et EDS simultanés

INTRODUCTION

La spectroscopie de perte d'énergie électronique (EELS) et la spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS), associées à la microscopie électronique à transmission à balayage (STEM), fournissent la composition chimique locale ainsi que des informations sur la structure des matériaux. Il était largement admis que l'EDS est (seulement) bon pour la détection d'éléments lourds et EELS est (seulement) bon pour les éléments légers. Avec le développement des spectromètres EELS et des détecteurs EDS, EELS et EDS sont aujourd'hui capables de travailler à la fois sur des éléments légers et lourds, bien que chacun ait ses propres limites de force et de détection. EELS et EDS pourraient fonctionner indépendamment, mais EELS et EDS simultanément fourniront une information chimique complète.

Avec les progrès de la STEM corrigée par aberration, la taille de la sonde électronique est maintenant réduite au niveau inférieur à l'angström et en même temps, le courant dans la sonde augmente énormément. De tels changements permettent de collecter suffisamment de signaux pour une analyse analytique avec une sonde minuscule, c'est-à-dire d'étudier non seulement la structure par également leur chimie atome par atome.

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